| 基于Motif参数的线边缘粗糙度评定方法研究 |
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| 引用本文： | 赵凤霞,张琳娜,郭三刺. 基于Motif参数的线边缘粗糙度评定方法研究[J]. 计量技术, 2009, 0(4): 14-17 |
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| 作者姓名： | 赵凤霞 张琳娜 郭三刺 |
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| 作者单位： | 郑州大学机械工程学院,郑州,450001 |
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| 基金项目： | 河南省基础与前沿技术研究项目，河南省教育厅项目 |
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| 摘 要： | 针对现有线边缘粗糙度（line edge roughhess，LER）表征参数的不足，提出采用基于Motif参数的LER表征方法。对Motif参数的基本概念和评定流程进行了介绍，并以多层薄膜沉积技术制备的纳米线宽样板的LER评定为例进行了实验。结果表明：Motif参数无需评定基准，可以在轮廓全域内表征LER的幅度和间距特性，评定结果具有一定的鲁棒性。
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| 关 键 词： | 线边缘粗糙度 评定 Motif参数 |
Research on Motif Parameters-based Evaluation Method of Line Edge Roughness |
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| Zhao Fengxia,Zhang Linna,Guo Sanci. Research on Motif Parameters-based Evaluation Method of Line Edge Roughness[J]. Measurement Technique, 2009, 0(4): 14-17 |
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| Authors: | Zhao Fengxia Zhang Linna Guo Sanci |
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