| 用于扫描探针显微镜的复合型三维压电扫描器 |
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| 引用本文： | 洪涛,王佳,刘秀梅,丁琳.用于扫描探针显微镜的复合型三维压电扫描器[J].压电与声光,2000,22(1):30-32,51. |
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| 作者姓名： | 洪涛 王佳 刘秀梅 丁琳 |
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| 作者单位： | 清华大学,精密仪器系,精密测试技术及仪器国家重点实验室,北京,100084 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金!39470204 |
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| 摘 要： | 三维压电陶瓷扫描器是扫描探针显微镜的关键部件。本文作者设计制作了一种复合型三维压电陶瓷扫描器,并对扫描器的性能进行了检测。当激励电压为±400V时其扫描范围达到13μm×13μm。其x,y方向的非线性度小于0.36％,z方向的非线性度小于0.14％。这种扫描器被用于扫描近场光学显微镜探测系统中。
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| 关 键 词： | 扫描探针显微镜 压电扫描器 压电陶瓷 |
| 文章编号： | 1004-2474（2000）02-0030-03 |
Compound Three-dimensional Piezoelectric Scanner Used in Scanning Probe Microscopy |
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| HONG Tao,WANG Jia,LIU Xiu-mei,DING Lin.Compound Three-dimensional Piezoelectric Scanner Used in Scanning Probe Microscopy[J].Piezoelectrics & Acoustooptics,2000,22(1):30-32,51. |
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| Authors: | HONG Tao WANG Jia LIU Xiu-mei DING Lin |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | scanning near field optical microscope scanning probe microscope piezoelectric scanner |
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