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| 电容式MEMS微波功率传感器过载功率的优化 | |
| 作者姓名： | 张聪淳 何渊 谢嘉诚 王德波 |
| 作者单位： | 南京邮电大学 电子与光学工程学院、微电子学院, 南京 210023 |
| 基金项目： | 国家青年自然科学基金资助项目(61704086);中国博士后科学基金资助项目(2017M621692); 江苏省博士后基金资助项目(1701131B);南京邮电大学国自基金孵化资助项目(NY215139,NY217039) |
| 摘 要： | 提出了一种等效串联电容式MEMS微波功率传感器,在不影响传感器微波性能的前提下,实现了过载功率的提升.分别建立了传感器的力学模型和集总参数模型,对过载功率特性和微波特性进行了优化与分析.使用Ansys软件和Hfss软件对传感器相关参数进行了仿真,验证了文章所建立模型的准确性.结果表明,当MIM电容相对值β从1.25变化... |
| 关 键 词： | 等效串联电容结构 MEMS功率传感器 过载功率 微波 |
| 收稿时间： | 2020-05-27 |
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