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| 拉曼光谱应用于硅微悬臂梁的应力特性测试 | |
| 引用本文： | 熊继军,张文栋,薛晨阳,桑胜波,周兆英. 拉曼光谱应用于硅微悬臂梁的应力特性测试[J]. 中国机械工程, 2005, 16(14): 1292-1295 |
| 作者姓名： | 熊继军 张文栋 薛晨阳 桑胜波 周兆英 |
| 作者单位： | 1. 中北大学仪器与动态测试教育部重点实验室,太原,030051;清华大学,北京,100084 2. 中北大学仪器与动态测试教育部重点实验室,太原,030051 3. 清华大学,北京,100084 |
| 基金项目： | 国家863高技术研究发展计划资助项目(2004AA404040) |
| 摘 要： | 介绍了一种基于拉曼光谱频移来实现微结构应力测试的方法。利用该方法,实现了标准体硅腐蚀工艺形成的八梁支撑的微悬臂梁中应力分布的测试。测试结果表明EPW体硅腐蚀形成的梁—质量块系统中梁与质量块上存在40～160MPa的张应力,微梁上的残余张应力平均达到100MPa;对微结构上的不同位置,边缘的残余应力普遍要比中心位置的大一些。 |
| 关 键 词： | 微结构 应力 拉曼光谱 悬臂梁 质量块 |
| 文章编号： | 1004-132X(2005)14-1292-04 |
Applications of Raman Spectroscopy in Stress Performance Measurement of Micro-cantilever |
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| Xiong Jijun,Zhang Wendong,Xue Chenyang,Sang Shengbo,Zhou Zhaoying. Applications of Raman Spectroscopy in Stress Performance Measurement of Micro-cantilever[J]. China Mechanical Engineering, 2005, 16(14): 1292-1295 | |
| Authors: | Xiong Jijun Zhang Wendong Xue Chenyang Sang Shengbo Zhou Zhaoying |
| Affiliation: | Xiong Jijun 1,2 Zhang Wendong 1 Xue Chenyang 1 Sang Shengbo1 Zhou Zhaoying2 1. Key Lab of Instrumentation Science & Dynamic Measurement Ministry of Education,North University of China,Taiyuan,030051 2. Tsinghua University,Beijing,100084 |
| Abstract: | |
| Keywords: | micro-structure stress Raman spectroscopy micro- cantilever mass |
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