| 1种用于TPMS的新型环振式数字压力传感器 |
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| 引用本文： | 杨旸,张兆华,陈伟,刘理天,余志平.1种用于TPMS的新型环振式数字压力传感器[J].微电子学,2010,40(6). |
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| 作者姓名： | 杨旸 张兆华 陈伟 刘理天 余志平 |
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| 基金项目： | 国家发改委信息产业领域汽车电子产业化发展专项资金资助项目，国家高技术研究发展(863)计划基金资助项目，商务部2007年优化机电和高新技术产品进出口结构资金资助项目 |
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| 摘 要： | 研制了一种新型环振式数字压力传感器,它可应用于汽车轮胎压力监测报警系统(TPMS).采用硅薄膜上的PMOS环形振荡器作为压力敏感元件,两个反方向变化的环振输出信号通过集成在片内的混频器实现频率相减.该传感器具有准数字输出、温度系数低、灵敏度高以及制作工艺简单等特点.分析并设计了压力传感器的环形振荡器电路、混频器电路、物理结构.分析了环形振荡器的频率特性、环形振荡器的谐振频率与压力的关系,以及制作工艺,并制作了样品,其灵敏度为5.12 kHz/Bar.
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| 关 键 词： | 数字式压力传感器 环形振荡器 混频器 轮胎压力监测报警系统 |
A New Digital Ring Oscillating Pressure Sensor for TPMS Application |
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| YANG Yang,ZHANG Zhaohua,CHEN Wei,LIU Litian,YU Zhiping.A New Digital Ring Oscillating Pressure Sensor for TPMS Application[J].Microelectronics,2010,40(6). |
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| Authors: | YANG Yang ZHANG Zhaohua CHEN Wei LIU Litian YU Zhiping |
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