| 电化学技术在微电子工业中的应用(Ⅰ)(待续) |
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| 引用本文： | 罗驰,秦岭.电化学技术在微电子工业中的应用(Ⅰ)(待续)[J].电镀与精饰,2012(10):20-22. |
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| 作者姓名： | 罗驰 秦岭 |
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| 作者单位： | 中国电子科技集团公司第二十四研究所 |
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| 摘 要： | 综述了电镀、化学镀及电化学腐蚀等电化学技术在集成电路与混合集成电路加工、传统与先进封装、微电子机械系统制作等一些微细加工领域的应用。通过综述可以看出,电化学制备金属薄膜这种传统的工艺在新的应用领域里体现出其它一些薄膜制备工艺不具备的优势。
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| 关 键 词： | 电镀 化学镀 电化学腐蚀 微电子 |
Applications of Electrochemical Technology in the Microelectronics Industry(Ⅰ)(to be continued) |
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| LUO Chi,QIN Ling.Applications of Electrochemical Technology in the Microelectronics Industry(Ⅰ)(to be continued)[J].Plating & Finishing,2012(10):20-22. |
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| Authors: | LUO Chi QIN Ling |
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| Affiliation: | (Sichuan Institute of Solid-State Circuits,China Electronics Technology Group,Chongqing 400060,China) |
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