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光学自动检测技术在批量高密度板极电路中的应用
引用本文:车开敏.光学自动检测技术在批量高密度板极电路中的应用[J].硅谷,2014(7):89+84-89,84.
作者姓名:车开敏
作者单位:中国电子科技集团公司第三十八研究所
摘    要:光学自动检测是对板极电路改进制造工艺和提高制造质量重要手段,利用先进的光学自动检测技术是对高密度板极数字板生产质量的有力促进,加强检测环节新技术应用也是提高生产效率重要组成部分。

关 键 词:光学自动检测技术  高密度板极电路
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