α-Al_2O_3衬底上生长的GaN膜的光学性质 |
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引用本文: | 杨凯,张荣,秦林洪,沈波,施洪涛,郑有,黄振春.α-Al_2O_3衬底上生长的GaN膜的光学性质[J].高技术通讯,1996(10). |
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作者姓名: | 杨凯 张荣 秦林洪 沈波 施洪涛 郑有 黄振春 |
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作者单位: | 南京大学物理系(杨凯,张荣,秦林洪,沈波,施洪涛,郑有),美国马里兰大学电子工程系(黄振春) |
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基金项目: | 国家教委跨世纪人才专项基金,国家自然科学基金 |
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摘 要: | 采用金属有机化学气相淀积(MOCVD)方法生长了α-Al2O3衬底上外延的高质量的单晶GaN薄膜。X射线衍射光谱与喇曼散射光谱表征了GaN外延薄膜的单晶结构和单晶质量。透射光谱和光调制反射光谱定出了六角单晶GaN薄膜的直接带隙宽度和光学参数。
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关 键 词: | α-Al_2O_3衬底,GaN薄膜,金属有机化学气相淀积,单晶,光学性质 |
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