| 基于平面线圈的石英挠性加速度计的初步设计 |
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| 引用本文： | 宋开臣,梁萌.基于平面线圈的石英挠性加速度计的初步设计[J].仪表技术与传感器,2008(3):12-14. |
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| 作者姓名： | 宋开臣 梁萌 |
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| 作者单位： | 浙江大学机械与能源工程学院机械电子控制工程研究所,浙江杭州,310027 |
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| 摘 要： | 针对石英挠性加速度计目前存在的稳定性不好、温漂较大及不能兼顾大量程和高灵敏度测量等问题,提出了使用通电线圈代替永磁材料提供支承磁场,在石英摆片上双面光刻螺旋线圈作为力矩线圈的构想,并以此为基础初步设计了基于平面线圈、灵敏度可调的石英挠性加速度计.经过建模分析,可以达到预想的效果.
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| 关 键 词： | 平面线圈 稳定性 灵敏度 平面线圈 石英挠性加速度计 设计 Helix Plane Based Accelerometer Flexural Silicon 效果 建模分析 灵敏度 力矩线圈 螺旋线圈 双面光刻 石英摆片 磁场 支承 永磁材料 通电 |
| 文章编号： | 1002-1841(2008)03-0013-02 |
| 修稿时间： | 2007年5月8日 |
Preliminary Design of Silicon Flexural Accelerometer Based on Plane Helix |
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| SONG Kai-chen,LIANG Meng.Preliminary Design of Silicon Flexural Accelerometer Based on Plane Helix[J].Instrument Technique and Sensor,2008(3):12-14. |
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| Authors: | SONG Kai-chen LIANG Meng |
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