| 一种提高显微数控平台控制精度的细分驱动算法 |
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| 引用本文： | 邓耀华,吴黎明,张力锴,陈景郁,苏振锐.一种提高显微数控平台控制精度的细分驱动算法[J].机械设计与制造,2010(5). |
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| 作者姓名： | 邓耀华 吴黎明 张力锴 陈景郁 苏振锐 |
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| 作者单位： | 1. 广东工业大学,信息工程学院,广州,510006;华南理工大学,机械与汽车工程学院,广州,510643
2. 广东工业大学,信息工程学院,广州,510006 |
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| 基金项目： | 广东省科技计划攻关项目，广州市科技攻关项目 |
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| 摘 要： | 高精密显微数控工作台是IC晶片自动光学检测的核心部件之一,其运动精度直接影响光学检测设备的分辨力,工作台的运动速度和加速度会影响整个IC晶片检测的工作效率.首先给出了高精度工作台的机械设计和工作台嵌入式控制结构,然后针对工作台的驱动精度进行研究,深入分析了驱动电机细分控制中的正余弦细分控制方法,使用细分表查表算法进行计算,分析了查表法存在的不足方面,提出了多级细分控制算法,利用圆的多边形逼近算法动态计算细分电流值,保证了高次细分情况下电机线圈电流矢量的均匀性,使得微步距角的分配更均匀,有效的提高了工作台运动的平稳性和控制精度,为IC晶片的精密检测提供了可靠的保证.
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| 关 键 词： | IC晶片检测 高精度工作台 自适应细分 逼近算法 嵌入式 |
Micro-driver algorithm for improving the motion precision of micro workbench |
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| DENG Yao-hua,WU Li-ming,ZHANG Li-kai,CHEN Jing-yu,SU Zhen-rui.Micro-driver algorithm for improving the motion precision of micro workbench[J].Machinery Design & Manufacture,2010(5). |
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| Authors: | DENG Yao-hua WU Li-ming ZHANG Li-kai CHEN Jing-yu SU Zhen-rui |
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