纯钛表面纳米化预处理对氧化膜结构的影响

采用快速多重旋转碾压(FMRR)技术对工业纯钛表面进行表面纳米化预处理,再通过微弧氧化技术在处理后的样品表层制备氧化膜。利用X射线衍射仪(XRD)、透射电镜(TEM)及扫描电镜(SEM)研究了FMRR处理后纯钛表层的微观结构及氧化膜的形貌。结果表明:FMRR处理后,纯钛的X射线衍射峰均发生明显的宽化,其主要原因是由于剧烈塑性变形导致晶粒细化及产生了微观应力所引起的;纯钛经过FMRR处理40 min后,最表层的平均晶粒被细化到大约10 nm。纳米化预处理使微弧氧化膜的孔洞减少、致密性提高,同时膜层的厚度也增加;当电流大小为3 A时,纳米纯钛表面制备的氧化膜的厚度达到38μm。