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| 红外材料硅透镜加工工艺研究 | |
| 作者姓名： | 徐岩 李善武 杨新华 陈洪许 |
| 作者单位： | 中国空空导弹研究院,河南,洛阳,471009;中国空空导弹研究院,河南,洛阳,471009;中国空空导弹研究院,河南,洛阳,471009;中国空空导弹研究院,河南,洛阳,471009 |
| 摘 要： | 随着红外空空导弹的发展,红外光学材料单晶硅得到了广泛的应用.介绍了单晶硅材料加工透镜的工艺过程,着重研究了硅透镜的抛光技术,通过使用不同的抛光粉及抛光模层材料,找到了加工硅透镜的最佳工艺匹配条件.实验结果表明：使用SiO2胶体配制的抛光液（PH10～11）及用抛光布制成的抛光模,采用机械-化学方法抛光出的零件表面疵病达到Ⅲ级（GB 1185-74）,并能够通过修改抛光模控制光圈及光圈误差,加工出的硅透镜满足导弹光学系统的要求. |
| 关 键 词： | 单晶硅 表面疵病 精磨 机械-化学抛光 |
| 文章编号： | 1007-2276（2006）03-0359-03 |
| 收稿时间： | 2005-08-06 |
| 修稿时间： | 2005-08-062005-09-15 |
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