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| 3W全固态355nm Nd∶YAG激光器 | |
| 作者姓名： | 冯衍 毕勇 张鸿博 姚爱芸 王桂玲 林学春 汪家升 许祖彦 朱镛 陈创天 |
| 作者单位： | 1. 中国科学院物理研究所,北京,100080 2. 中国科学院理化技术研究所,北京,100080 |
| 基金项目： | 973计划 (项目编号KJCX1 0 5 )资助项目 |
| 摘 要： | 高平均功率全固态调Ｑ 35 5ｎｍ激光器在微电子、激光加工 ,科研等领域有着广泛应用 ,如在电路板加工与立体印刷方面。电路板加工要求紫外激光在高重复频率时提供大于 30 0 μＪ的脉冲能量 ;立体印刷技术要求的是平均功率 (一般在 0 4～ 1Ｗ之间 )。而一般的激光材料加工要求 |
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