| 512×512元高帧速可见光CCD |
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| 引用本文： | 刘昌林,李仁豪,唐绍凡,周旭东,龙飞.512×512元高帧速可见光CCD[J].半导体光电,2005,26(Z1):16-18,117. |
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| 作者姓名： | 刘昌林 李仁豪 唐绍凡 周旭东 龙飞 |
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| 作者单位： | 1. CCD图像传感器国家级重点实验室,重庆,400060
2. 中国航天科技集团公司508所,北京,100063 |
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| 摘 要： | CCD具有低响应非线性、宽光谱响应、低噪声、高动态范围和测光精度,已被广泛应用于许多成像领域.本文介绍了利用三层多晶硅、埋沟、双层金属工艺研制的16抽头512×512元高帧速可见光CCD.测试结果表明,该器件具有高的光响应均匀性、高动态范围和低噪声,并已成功应用于高分辨率高速成像.
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| 关 键 词： | 高帧速 高速成像 多抽头 可见光CCD 高帧速 可见光 Frame Rate High Visible Light 高速成像 高分辨率 均匀性 光响应 器件 测试结果 工艺研制 金属 埋沟 多晶硅 利用 应用 精度 测光 高动态范围 |
| 文章编号： | 1001-5868(2005)S-0016-03 |
| 修稿时间： | 2004年11月22日 |
512×512 Element Visible Light CCD with High Frame Rate |
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| LIU Chang-lin,LI Ren-hao,TANG Shao-fan,ZHOU Xu-dong,LONG Fei.512×512 Element Visible Light CCD with High Frame Rate[J].Semiconductor Optoelectronics,2005,26(Z1):16-18,117. |
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| Authors: | LIU Chang-lin LI Ren-hao TANG Shao-fan ZHOU Xu-dong LONG Fei |
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