磁致涡流效应对化成铝箔Al2O3-TiO2复合膜结构及性能的影响 |
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作者姓名: | 赵静 王天鹏 马坤松 朱德秋 张淮浩 |
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作者单位: | 扬州大学 化学化工学院, 扬州 225002,扬州大学 化学化工学院, 扬州 225002,扬州宏远电子有限公司, 扬州 225600,扬州宏远电子有限公司, 扬州 225600,扬州大学 化学化工学院, 扬州 225002 |
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基金项目: | 江苏高校优势学科建设工程资助项目(PAPD);江苏高校品牌专业建设一期工程资助项目(TAPP,PPZY2015B112);山东省自然科学基金(ZR2017MEM019) |
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摘 要: | 以TiCl4为前驱体溶液,通过磁场辅助电沉积法在腐蚀箔表面形成具有高介电常数的Al2O3-TiO2复合氧化膜。系统研究了磁致涡流效应(MHD效应,Magnetohydrodynamics)对电解液中离子扩散行为及Al2O3-TiO2复合氧化膜结构与性能的影响规律。采用XRD能谱、扫描电镜SEM以及EDS能谱等手段对氧化膜晶相、表面/截面形貌以及Ti元素分布进行表征。结果表明,随着磁感应强度B的增强,电解液中Ti4+向箔面及蚀孔内的扩散速率增大,复合膜层中锐钛矿型TiO2含量提高,且其在箔面及蚀孔内部分布均一性提升。另外,氧化膜阳极升压曲线、Tafel极化曲线及交流阻抗曲线的分析结果表明,MHD效应提高了复合氧化膜介电常数,减少了阳极氧化阶段的形成电量,对应的化成箔比电容增大至58.29 μF/cm2,较之无MHD制备的Al2O3-TiO2化成箔,其形成电量减少了24.6%,比电容增加了10.1%。
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关 键 词: | 电沉积 磁场 电极箔 复合氧化膜 |
收稿时间: | 2018-08-28 |
修稿时间: | 2018-10-10 |
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