| 现行SEMI气体标准目录 |
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| 引用本文： | 梁玉.现行SEMI气体标准目录[J].低温与特气,2005,23(6):32-34. |
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| 作者姓名： | 梁玉 |
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| 作者单位： | 光明化工研究设计院,辽宁,大连,甘井子,甘北路34号,116031 |
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| 摘 要： | 1．“SEMIC3．18-1102瓶装二氯二氢硅规范，等级97％”和“SEMIC3．31-1102瓶装二氯二氢硅规范，等级99％（暂定）”为“SEMIC56-0305二氯二氢硅（SiH2Cl2）规范和准则”所代替；
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| 关 键 词： | 标准目录 SEMI 二氯二氢硅 气体 瓶装 |
| 文章编号： | 1007-7804（2005）06-0032-03 |
| 收稿时间： | 2005-09-19 |
| 修稿时间： | 2005年9月19日 |
Current Gases Standard Catalogue For SEMI |
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| LIANG Yu.Current Gases Standard Catalogue For SEMI[J].Low Temperature and Specialty Gases,2005,23(6):32-34. |
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| Authors: | LIANG Yu |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | |
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