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| 类石墨碳膜的制备及其与类金刚石碳膜的区分 | |
| 作者姓名： | 杜军 何家文 |
| 作者单位： | 1. 装甲兵工程学院,装备再制造工程系,北京,100072 2. 西安交通大学,材料学院,陕西,西安,710049 |
| 摘 要： | 类金刚石碳膜的碳键结构一般以sp3为主,用离子束辅助磁控溅射制备了以sp2为主的非晶碳膜,即类石墨碳膜。分析类石墨碳膜的成分、组织结构,并通过这些结果区分类石墨碳膜与类金刚石碳膜。采用卢瑟福背散射谱(RBS)、x射线衍射(XRD)、透射电镜(TEM)、x射线光电子谱(XPS)、四点探针法(FPM)分析了成分、组织结构及电阻率,结果表明:制备碳膜的晶体结构是非晶,碳键结构以sp2为主,电阻率在10-4~10-2??m之间。证明这种非晶碳膜不同于类金刚石碳膜(sp3为主)。 |
| 关 键 词： | 类金刚石碳膜 类石墨碳膜 碳键结构 |
| 文章编号： | 1007-9289（2005）04-0006-03 |
| 收稿时间： | 2005-03-26 |
| 修稿时间： | 2005-03-26 |
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