| 轧制变形量及退火工艺对钼靶材显微组织的影响 |
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| 引用本文： | 冯永山,陈飞鹏,李诵斌,李雄斌,李阁平,洪志远,陈岩.轧制变形量及退火工艺对钼靶材显微组织的影响[J].铜业工程,2024(2):66-72. |
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| 作者姓名： | 冯永山 陈飞鹏 李诵斌 李雄斌 李阁平 洪志远 陈岩 |
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| 作者单位： | 1. 江西铜业技术研究院有限公司,1. 江西铜业技术研究院有限公司,1. 江西铜业技术研究院有限公司,1. 江西铜业技术研究院有限公司,2. 中国科学院金属研究所,1. 江西铜业技术研究院有限公司,1. 江西铜业技术研究院有限公司 |
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| 基金项目： | 新能源汽车扁线用高性能高纯无氧铜杆研究与开发项目（S2022ZPYD0005） |
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| 摘 要： | 钼靶材作为制备钼薄膜的溅射源，其致密性、纯度、粒径及取向分布决定溅射薄膜的品质与性能。为了确定钼靶材轧制的最佳工艺，将钼靶材在 60%~90% 变形量下以不同工艺条件轧制，并在 900~1200 ℃下以不同温度退火，然后采用精密测量、金相观察、扫描电镜成像（SEM）、 X射线衍射（XRD）、电子背散射衍射（EBSD）等方法表征钼靶成品的理化性能和组织结构，并分析和讨论钼靶材的致密度、晶粒度以及结晶取向等特征关系。结果表明，当轧制变形量为80%~85%时，钼靶致密度达到99.8%，经过1000 ℃真空退火后，组织均匀性最佳，测得平均晶粒尺寸为57.1 μm，同时靶面呈现出显著的｛100｝晶面择优取向。
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| 关 键 词： | 钼靶材 轧制变形量 退火 织构 显微组织 |
| 收稿时间： | 2023/7/27 0:00:00 |
| 修稿时间： | 2023/11/27 0:00:00 |
Microstructure of Molybdenum Target with Different Rolling Deformations and Annealing Processes |
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