考虑晶圆驻留时间约束的双臂组合设备群调度

组合设备群代表了当前晶圆制造装备发展的新趋势，其调度控制水平直接攸关半导体芯片制造企业的整体经济效益。针对半导体芯片制造中考虑晶圆驻留时间约束的双臂组合设备群，文章提出了一种基于特征转换的调度控制方法。首先，引入一种概念型晶圆制造系统，即特征双臂组合设备，并给出相应的稳态调度方法。其次，采用特征转换方法，将线性/树形结构的双臂组合设备群转换为特征双臂组合设备。随后，根据转换后的特征双臂组合设备重新调整双臂组合设备群的机械手作业序列，并求解可行的稳态调度方案。最后，通过实例验证了所提方法的有效性。