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CdTe薄膜的红外光学特性研究
引用本文:范滨 张素英. CdTe薄膜的红外光学特性研究[J]. 红外与毫米波学报, 1998, 17(3): 192-196
作者姓名:范滨 张素英
作者单位:中国科学院上海技术物理研究所,上海,200083
摘    要:用干涉法研究了热蒸发(PVD)方法制备的CdTe薄膜材料的红外光学特性,通过对不同基板温度和不同薄膜厚度CdTe薄膜样品的研究,确定了在薄膜沉积过程中基板温度和膜厚对CdTe薄膜红外光学特性的影响,发现CdTe薄膜具有一定的非均匀性,其折射率随着薄膜厚度的增加而减小,在120-200℃范围内,基板温度对CdTe薄膜红外光学特性的影响不大。

关 键 词:折射率 基板温度 红外光学特性 碲化镉 薄膜
修稿时间:1997-06-17

INFRARED OPTICAL PROPERTIES OF CdTe COATINGS
FAN Bin,ZHANG Su-ying,ZHU Ling-Xin,ZHANG Feng-shan. INFRARED OPTICAL PROPERTIES OF CdTe COATINGS[J]. Journal of Infrared and Millimeter Waves, 1998, 17(3): 192-196
Authors:FAN Bin  ZHANG Su-ying  ZHU Ling-Xin  ZHANG Feng-shan
Abstract:
Keywords:refractive index   thickness   substrate temperature   inhomogeneity.  
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