| 多级离子注入法制备太阳选择性吸收膜 |
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| 引用本文： | 牛继南,强颖怀.多级离子注入法制备太阳选择性吸收膜[J].太阳能学报,2009,30(7). |
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| 作者姓名： | 牛继南 强颖怀 |
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| 作者单位： | 中国矿业大学材料科学与工程学院,徐州,221116 |
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| 基金项目： | 江苏省研究生创新计划项目 |
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| 摘 要： | 尝试采用离子注入法制备太阳选择性吸收膜层.利用多级离子注入后纵向浓度分布呈梯度分布的原理,对纯铝表面溅射Ti膜后进行了3种方案的多级N离子注入.测试了样品的吸收率和发射率,对各方案制备的样品进行了性能比较,并用x射线衍射仪分析了物相组成,用俄歇扫描系统分析了纵向元素的分布,用弯折法测试了膜层结合力.结果发现,膜层吸收率均在0.94以上,但发射率普遍偏大.太阳选择吸收性最好的样品吸收率a为0.95、发射率e为0.21,膜层中含有TiN0.76、TiN0.6O0.4、TiO、Al2、Ti、Al3、Ti等物相,氮元素在纵向由最表面到铝基体梯度递减,膜层与基底结合力良好.
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| 关 键 词： | 多级离子注入 太阳选择吸收性 |
SOLAR SELECTIVE ABSORBING COATING PREPARED BY MULTI-GRADE NITROGEN IONS IMPLANTATION |
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| Niu Jinan,Qiang Yinghuai.SOLAR SELECTIVE ABSORBING COATING PREPARED BY MULTI-GRADE NITROGEN IONS IMPLANTATION[J].Acta Energiae Solaris Sinica,2009,30(7). |
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| Authors: | Niu Jinan Qiang Yinghuai |
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