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| 立方氮化硼（c－BN）膜的制备、性能及应用 | |
| 引用本文： | 程宇航,吴一平,陈建国,乔学亮,孙培祯.立方氮化硼（c－BN）膜的制备、性能及应用[J].材料科学与工程学报,1996(3). |
| 作者姓名： | 程宇航 吴一平 陈建国 乔学亮 孙培祯 |
| 作者单位： | 华中理工大学 |
| 摘 要： | 本文综合分析了立方氮化硼（ｃ－ＢＮ）膜的制备方法，介绍了ｃ－ＢＮ膜的结构及其机械、电学、光学和热学性能。最后总结了ｃ－ＢＮ膜在机械和电子领域的应用概况。 |
| 关 键 词： | c－BN膜，制备，性能，应用 |
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