一种激光共焦位移传感器倾角误差补偿方法

应用激光共焦位移传感器测量物体倾角时，易受到物体颜色、位置的影响，导致误差较大，提出一种激光共焦位移传感器倾角误差补偿方法。基于激光共焦位移传感器分析结果，结合朗伯定律，对散射光场产生的光强进行计算，获取激光光束光能质心线在接收透镜中的角位置，分析激光光束与物体表面间是否呈垂直关系，若垂直说明没有发生倾斜，无需补偿；若不垂直说明物体表面发生倾斜，利用余弦定理计算出倾角，以倾角与物面间位移变量作为误差补偿结果。在不同倾角误差的测试实验中，所提方法都能实现精准补偿，具有适用性和鲁棒性。