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| 光电位置传感器PSD特性及其应用 | |
| 引用本文： | 曾超,李锋,等.光电位置传感器PSD特性及其应用[J].光学仪器,2002,24(4):30-33. |
| 作者姓名： | 曾超 李锋 等 |
| 作者单位： | 浙江大学现代光学仪器国家重点实验室,杭州,310027 |
| 摘 要： | 对光电位置传感器PSD的结构、工作原理、特性进行了分析和概述;并介绍了PSD在二维定位测量中的应用;最后分析了造成系统误差的主要原因. |
| 关 键 词： | 位置传感器 光电器件 |
| 文章编号： | 1005-5630(2002)4/5-0030-04 |
| 修稿时间： | 2002年6月30日 |
Characterisitics of optoelectronic position sensitive detector and its application |
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