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| 共面双栅极金刚石薄膜FEAs的计算机模拟 | |
| 引用本文： | 杨崇峰,曾葆青,刘阳,杨中海,殷吉昊,钱尚介.共面双栅极金刚石薄膜FEAs的计算机模拟[J].真空科学与技术学报,2002,22(5):329-332. |
| 作者姓名： | 杨崇峰 曾葆青 刘阳 杨中海 殷吉昊 钱尚介 |
| 作者单位： | 1. 北京真空电子技术研究所,北京,100016 2. 电子科技大学高能电子学研究所,成都,610054;核工业西南物理研究院,成都,610041 3. 电子科技大学高能电子学研究所,成都,610054 4. 核工业西南物理研究院,成都,610041 |
| 基金项目： | 国家自然科学基金 (No .60 0 710 2 2 )，大功率微波电真空器件技术国防重点实验室基金资助项目 |
| 摘 要： | 本文提出共面双栅极金刚石薄膜的场发射阵列阴极 (FEAs) ,它由平行的栅极、共面反射极和长条型的金刚石薄膜场发射体组成。采用PIC粒子模拟软件MAGIC模拟这种结构的电子轨迹、相空间图和发射电流 电压等特性 ,并与只有栅极时的情况进行对比 ,表明反射极对电子注有会聚作用 ,能形成层流性良好的电子注 ,该结构可应用于场发射平面显示器等真空微电子器件中 |
| 关 键 词： | 场发射 阴极 金刚石薄膜 计算机模拟 |
| 文章编号： | 0253-9748(2002)05-0329-04 |
| 修稿时间： | 2001年11月26 |
Simulation of Diamond-film Field Emission Arrays with in-Plane Lens |
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| Yang Chongfeng ,Zeng Baoqing ,Liu Yang ,Yang Zhonghai ,Yin Jihao ,Qian Shangjei.Simulation of Diamond-film Field Emission Arrays with in-Plane Lens[J].JOurnal of Vacuum Science and Technology,2002,22(5):329-332. | |
| Authors: | Yang Chongfeng Zeng Baoqing Liu Yang Yang Zhonghai Yin Jihao Qian Shangjei |
| Affiliation: | Yang Chongfeng 1,Zeng Baoqing *2,3,Liu Yang 2,Yang Zhonghai 2,Yin Jihao 2,Qian Shangjei 3 |
| Abstract: | The diamond film field emission arrays(FEAs),consisting of strip shaped planar emitters,parallel gates and anodes with and without in plane lens,have been simulated with the particle in cell(PIC) simulation code MAGIC.The electron beam streamlines,its distribution in the x v y phase space and the emission current voltage characteristics of the system with in plane lens were evaluated and compared with the results of the system without the in plane lens.We found that the in plane lens focuses the electron beam fairly well. |
| Keywords: | Field emission Cathode Diamond film PIC simulation |
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