| 基于多层SU-8结构的微喷阵列芯片的制作与应用研究 |
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| 引用本文： | 许宝建,金庆辉,赵建龙.基于多层SU-8结构的微喷阵列芯片的制作与应用研究[J].功能材料与器件学报,2006,12(5):377-382. |
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| 作者姓名： | 许宝建 金庆辉 赵建龙 |
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| 作者单位： | 1. 中国科学院上海微系统与信息技术研究所,上海,200050;中国科学院研究生院,北京,100039
2. 中国科学院上海微系统与信息技术研究所,上海,200050 |
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| 基金项目： | 中国科学院知识创新工程项目 |
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| 摘 要： | 采用光刻胶SU-8的光刻成型技术和"多次光刻、一次显影"工艺制备了基于三层SU-8结构的微喷阵列芯片,重点研究了SU-8胶工艺过程中平整度、温度和曝光剂量对多层微结构的影响,解决了芯片结构有裂纹、发生破裂和喷孔堵塞等问题.利用O2等离子体处理了芯片微管道内表面,使液体样品在进样后能够进行自动传输、分配和贮存.持续10ms的10kPa气压驱动下,该芯片可以在3.4mm×3.4mm的尼龙膜上制成5×5样品微阵列,25个点直径平均值为384μm,变异系数为2.6%.利用该芯片制成的DNA微阵列的信号强度变异系数达到4.5%,直径大小变异系数达到3.2%,符合生物微阵列分析的要求.
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| 关 键 词： | SU-8光刻胶 微喷阵列芯片 微阵列 表面处理 |
| 文章编号： | 1007-4252（2006）05-377-06 |
| 收稿时间： | 2005-10-11 |
| 修稿时间： | 2005-12-06 |
Fabrication and application of multilayer SU-8 based micro dispensing array chip |
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| XU Bao-jian,JIN Qing-hui,ZHAO Jian-long.Fabrication and application of multilayer SU-8 based micro dispensing array chip[J].Journal of Functional Materials and Devices,2006,12(5):377-382. |
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| Authors: | XU Bao-jian JIN Qing-hui ZHAO Jian-long |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | SU - 8 photoresist micro dispensing array chip microarray surface treatment |
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