| 纵向型双电离室△E—E探测器系统及其在ERD分析中的应用 |
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| 引用本文： | 符长波,路秀琴.纵向型双电离室△E—E探测器系统及其在ERD分析中的应用[J].原子能科学技术,2000,34(2):116-119. |
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| 作者姓名： | 符长波 路秀琴 |
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| 作者单位： | 中国原子能科学研究院核物理研究所!北京102413，中国原子能科学研究院核物理研究所!北京102413，中国原子能科学研究院核物理研究所!北京102413，中国原子能科学研究院核物理研究所!北京102413，中国原子能科学研究院核物理研究所!北京102413，中国原子能科学研究院核物理研究所!北 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金! (1 97750 67)，核工业科学基金! (71 96A0 1 1 3)资助项目 |
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| 摘 要： | 设计加了一套纵向型双电离室△Ｅ－Ｅ（气体－固体）探测器系统，由于采用了双电离室及电场均匀设计，得到较好的能量分辨率：利用５０．３ＭｅＶ的＾１２Ｃ在束测量，△Ｅ分辨率达３．３％，Ｅｒ分辨率达１．５％。利用该系统对新型半导体材料ＧａＡｓ、新型光电材料ＧａＮ等进行ＥＲＤ分析，得到了材料的元素深度分布谱（分辨率达５０ｎｍ）；在该系统和Ｑ３Ｄ磁谱仪配合测量中，得到深度分辨达１ｎｍ的深度分布谱。
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| 关 键 词： | 纵向型 双电离室 △E－E探测器 ERD分析 |
| 修稿时间： | 1999-06-31 |
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