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ZnS薄膜脉冲激光沉积及其发光特性
引用本文:纠智先,张兵临,姚宁.ZnS薄膜脉冲激光沉积及其发光特性[J].激光技术,2004,28(6):620-624.
作者姓名:纠智先  张兵临  姚宁
作者单位:1.郑州大学, 材料物理教育部重点实验室, 郑州, 450052
基金项目:河南省科技攻关计划资助项目(001120321)
摘    要:综述了ZnS的发光机制,脉冲激光沉积(PLD)制备薄膜的原理、特点,分析了在用PLD制备ZnS过程中各主要沉积条件对成膜质量的影响,展望了ZnS薄膜的应用前景。

关 键 词:脉冲激光沉积    ZnS薄膜    等离子体    纳米材料
文章编号:1001-3806(2004)06-0620-05
收稿时间:2004/1/8
修稿时间:2004年1月8日

ZnS thin film deposited by pulsed lasers and its luminescent characteristic
JIU Zhi-xian,ZHANG Bing-lin,YAO Ning.ZnS thin film deposited by pulsed lasers and its luminescent characteristic[J].Laser Technology,2004,28(6):620-624.
Authors:JIU Zhi-xian  ZHANG Bing-lin  YAO Ning
Abstract:Luminescent mechanism of ZnS and the preparation pri nc iple of thin film deposited by pulsed lasers and its chararacteristic are summar ized.The deposition parameters affecting the quality of the ZnS thin film during pulsed laser deposition are analysed emphatically.The prospect and potential ap plications of the film are also tentatively discussed.
Keywords:pulsed laser deposition(PLD)  ZnS thin films  p lasma  nanomaterials
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