| MES系统及其在半导体制造中的应用 |
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| 引用本文： | 缪海滨. MES系统及其在半导体制造中的应用[J]. 电子与封装, 2005, 5(10): 44-45 |
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| 作者姓名： | 缪海滨 |
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| 作者单位： | 中国电子科技集团第58研究所,江苏无锡214035 |
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| 摘 要： | 本文叙述了MES 系统的定义,半导体制造前工序中的MES 系统的特点,各组成模块的功能,系统的软硬件要求等。并指出了其在半导体制造中的应用。
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| 关 键 词： | MES Fab 数据库 应用 |
| 文章编号： | 1681-1070（2005）10-44-02 |
| 收稿时间： | 2005-03-27 |
| 修稿时间： | 2005-03-27 |
The Research of MES Applied in Semiconductor Manufacturing |
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| Miao Hai-bin. The Research of MES Applied in Semiconductor Manufacturing[J]. Electronics & Packaging, 2005, 5(10): 44-45 |
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| Authors: | Miao Hai-bin |
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| Affiliation: | The 58^th Research Institute of China Electronic Technology Group Corporation, Wuxi Jiangsu 214035, China |
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| Abstract: | The paper introduces the definition of MES and the characteristics of MES applied in semiconductor manufacturing.It's also illustrates the modules and the requirements of software and hardware. |
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| Keywords: | MES Fab |
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