极限分辨率为0.55μm的10:1缩小投影曝光装置

<正> 日立中央研究所研制了极限分辨率为0.55μm 的10:1缩小投影曝光装置。过去研制成的RA-101型10:1缩小投影曝光装置,使用波长为436nm 的 g 线,极限分辨率为1.5～1.0μm。而这次研制的装置,使用波长为365nm 的 i 线,提高了分辨率极限。光源仍用过去的500W 高压水银灯,这个灯的发光光谱在365nm 很强。透镜是美国トロパル公司制造的,数值孔径为0.4。从掩模到片子的距离为400nm,焦深为±1μm,分辨率为0.6μm 时 MTF(调制传递函