|
|||||
|
|
| 影响CVD高纯钛工业化因素研究 | |
| 引用本文： | 王克功,韩涛,佘顺利,梁佰战.影响CVD高纯钛工业化因素研究[J].世界建筑导报,2010(1). |
| 作者姓名： | 王克功 韩涛 佘顺利 梁佰战 |
| 作者单位： | 贵州大学材料与冶金学院 |
| 摘 要： | CVD法制备高纯钛过程中,高纯钛沉积速率和杂质含量是制约其规模化生产的主要原因。本文对沉积速率和杂质含量的影响因素进行了分析,发现影响沉积速率的主要因素是:真空度、温度以及加碘方式。影响杂质含量的主要因素是真空度、温度、TiI2蒸汽压以及海绵钛的质量。 |
| 关 键 词： | CVD 高纯钛 工业化 沉淀速率 杂质含量 |
| 本文献已被 维普 等数据库收录！ | |