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| 扩散泵抽速及动态流量法校准中有效抽速的研究 | |
| 引用本文： | 万昭志.扩散泵抽速及动态流量法校准中有效抽速的研究[J].真空,1986(1). |
| 作者姓名： | 万昭志 |
| 作者单位： | 电子工业部12所 |
| 摘 要： | 本文通过简单的数学推导，给出了Ｑ／Ｐ和Ｑ／ΔＰ 两种扩散泵抽速表达式，并从物理意义上解释了它们的区别。在此基础上阐明了动态流量法校准中的有效抽速Ｓ＂（Ｓ＂＝Ｑ／Ｐ－Ｐ０）何以为一常量的理由。文中给出有关实验数据。 |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |
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