| 一种用于蒸发高熔点材料的微型电子束蒸发枪的研制 |
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| 引用本文： | 缪鹏 严亚平. 一种用于蒸发高熔点材料的微型电子束蒸发枪的研制[J]. 微细加工技术, 1993, 0(4): 77-80 |
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| 作者姓名： | 缪鹏 严亚平 |
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| 作者单位： | 电子部第48研究所，电子部第48研究所 长沙 410111，长沙 410111 |
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| 摘 要： | 在半导体器件制造,冶金及表面物理研究领域中,越来越多地要涉及超薄超纯的高熔点材料薄膜的制备,本文对我们研制的一种可蒸发难熔材料的微型电子束蒸发枪作一简要的描述。
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| 关 键 词： | 蒸发 高熔点材料 电子束蒸发枪 微型 |
DEVELOPMENT OF A MICRO - EB EVAPORATOR USED TO EVAPORATE HIGH MELTING POINT MATERIALS |
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| Miao Peng,Yan Yapin. DEVELOPMENT OF A MICRO - EB EVAPORATOR USED TO EVAPORATE HIGH MELTING POINT MATERIALS[J]. Microfabrication Technology, 1993, 0(4): 77-80 |
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| Authors: | Miao Peng Yan Yapin |
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| Abstract: | In the fields of semiconductor device fabrication, metallurgy and surface physics research deposition of various super thin and super pure films composed of high meltnig point materials will be more and more involved. A micro-EB evaporator used to evaporate refractory materials are briefly described. |
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| Keywords: | EB evaporation high melting point materials |
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