| Al-AlN太阳能选择性吸收涂层的中频溅射工艺研究 |
| |
| 引用本文： | 付志强,王成彪,岳文,彭志坚,郭文利,梁彤翔.Al-AlN太阳能选择性吸收涂层的中频溅射工艺研究[J].太阳能学报,2011,32(12). |
| |
| 作者姓名： | 付志强 王成彪 岳文 彭志坚 郭文利 梁彤翔 |
| |
| 作者单位： | 1. 中国地质大学(北京)工程技术学院,北京,100083
2. 清华大学核能与新能源技术研究院精细陶瓷北京市重点实验室,北京,100084 |
| |
| 基金项目： | 教育部科学技术研究重点项目，广西科学研究与技术开发计划项目，中央高校基本科研业务费专项资金，清华大学实验室开放基金 |
| |
| 摘 要： | 探讨了AlN膜和渐变Al-AlN选择性吸收涂层的中频溅射技术,结果表明:增大铝靶电流或减小氩气流量有助于改善AlN反应溅射的工艺稳定性；随着氮气流量的增加,AlN膜的N/Al原子比增大,减小氩气流量或增大铝靶电流对制备满足理想化学计量比的AlN膜有利；AlN膜的致密性随氮气流量和铝靶电流的增大而改善,但氩气流量对AlN致密性没有明显影响；制备的渐变Al-AlN选择性吸收涂层可见光反射率低于6％.光谱选择性较好.
|
| 关 键 词： | Al-AlN 选择性吸收涂层 中频反应溅射 工艺参数 |
STUDY OF MEDIUM-FREQUENCY SPUTTERING OF GRADED Al-AlN SOLAR SELECTIVE ABSORBERS |
| |
| Fu Zhiqiang
,
Wang Chengbiao
,
Yue Wen
,
Peng Zhijian
,
Guo Wenli
,
Liang Tongxiang.STUDY OF MEDIUM-FREQUENCY SPUTTERING OF GRADED Al-AlN SOLAR SELECTIVE ABSORBERS[J].Acta Energiae Solaris Sinica,2011,32(12). |
| |
| Authors: | Fu Zhiqiang Wang Chengbiao Yue Wen Peng Zhijian Guo Wenli Liang Tongxiang |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | |
| 本文献已被 万方数据 等数据库收录！ |
|
