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| 第七讲：真空检漏 | |
| 引用本文： | 关奎之.第七讲：真空检漏[J].真空,1997(6):42-46. |
| 作者姓名： | 关奎之 |
| 作者单位： | 东北大学 |
| 摘 要： | 第七讲：真空检漏关奎之（东北大学）二、检漏仪器（接１９９７年第５期第４４页）用于检漏的仪器有氦质谱检漏仪、卤素检漏仪、高频火花检漏器、气敏半导体检漏仪及用于质谱分析的各种质谱计。这里主要介绍氦质谱检漏仪、卤素检漏仪、高频火花检漏器的工作原理、结构及国... |
| 关 键 词： | 真空检漏 氦质谱检漏仪 检漏仪器 |
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