| 绒面ZAO透明导电膜的制备工艺研究 |
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| 引用本文： | 姜翠宁,闫都伦,王珏,黄启耀. 绒面ZAO透明导电膜的制备工艺研究[J]. 真空, 2010, 47(5) |
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| 作者姓名： | 姜翠宁 闫都伦 王珏 黄启耀 |
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| 作者单位： | 深圳新南亚技术开发有限公司,广东,深圳,518029 |
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| 摘 要： | ![]()
绒面ZAO(ZnO∶Al,氧化锌铝)透明导电膜在硅基薄膜太阳能电池领域应用前景广阔,本文利用直流磁控溅射方法,采用氧化锌铝陶瓷靶材制备了ZAO透明导电膜,并用自制的腐蚀液对膜层进行腐蚀以便形成太阳能电池所需要的表面凹凸起伏的绒面结构。研究了不同镀膜温度对膜层性能的影响,不同退火条件下膜层热稳定性的变化情况,不同腐蚀时间下膜层电阻、透过率以及表面形貌的变化,结果表明,在相同真空度、溅射功率和节拍的情况下,220℃下制备的ZAO透明导电膜膜层性能最好,腐蚀时间为30 s时获得的绒面效果好。
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| 关 键 词： | ZAO透明导电膜 直流磁控溅射 热稳定性 绒面结构 |
Preparation of textured transparent conductive ZAO films |
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| JIANG Cui-ning,YAN Du-lun,WANG Jue,HUANG Qi-yao. Preparation of textured transparent conductive ZAO films[J]. Vacuum(China), 2010, 47(5) |
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| Authors: | JIANG Cui-ning YAN Du-lun WANG Jue HUANG Qi-yao |
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| Abstract: | ![]()
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