激光参数对陶瓷微孔加工质量的影响 |
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引用本文: | 谢明锋,吴勇华,闫永君,简运祺,徐俊飞.激光参数对陶瓷微孔加工质量的影响[J].现代制造工程,2023(6):78-84. |
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作者姓名: | 谢明锋 吴勇华 闫永君 简运祺 徐俊飞 |
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作者单位: | 1. 五邑大学智能制造学部 |
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基金项目: | 广东省重大科技专项计划资助项目(2020A080201009);;广东省自然科学基金资助项目(S2018010008735); |
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摘 要: | 为研究激光加工氧化铝陶瓷高质量微孔的成型工艺,采用皮秒激光自旋切割模式在0.3 mm厚的氧化铝陶瓷上加工直径为0.2 mm的微通孔。研究了激光加工参数(激光功率、离焦量、重复频率、打孔次数及扫描速度)对微孔质量的影响。试验结果表明,随着激光功率的增加,孔的入口、出口直径增大,入口、出口圆度和锥度呈现减小的趋势;随着扫描速度的降低,孔的锥度呈下降趋势;随着负离焦量的增大微孔锥度逐渐减小;重复频率的变化对微孔质量各性能指标影响不大。试验发现激光功率和离焦量是影响微孔质量主要因素。最终在功率为27 W、离焦量为-0.7 mm、扫描速度为400 mm/s、重复频率为100 kHz及打孔次数为10次时获得入口圆度为2.995μm、出口圆度为3.509μm及锥度为5.96°的高质量微孔。
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关 键 词: | 皮秒激光 氧化铝陶瓷 微孔 激光功率 离焦量 |
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