| 一种新型的表面传导电子发射阴极 |
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| 引用本文： | 吴凯,李德杰.一种新型的表面传导电子发射阴极[J].真空科学与技术学报,2006,26(5):339-342. |
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| 作者姓名： | 吴凯 李德杰 |
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| 作者单位： | 清华大学电子工程系,北京,100084 |
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| 摘 要： | 本文介绍了表面传导电子发射（SCE）显示技术，提出Bi2O3／C／Cu结构的双薄膜型SCE阴极，并对其制备工艺和发射性能进行讨论。与佳能公司的SCE阴极相比，该结构采用了廉价的方式实现纳米级缝隙的构建，大大减小了激活时间与制备成本。实验表明，薄膜的蒸镀参数对制得的阴极性能有很大影响。通过对工艺参数的优化，得到了稳定、均匀的电子发射，电子发射率达到0．8％，向器件实用化方向迈出了重要的一步。
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| 关 键 词： | 平面显示 表面传导发射 双薄膜 热蒸发 |
| 文章编号： | 1672-7126（2006）05-339-04 |
| 收稿时间： | 2006-03-07 |
| 修稿时间： | 2006年3月7日 |
Development of Surface Conduction Electron Emitter Display Cathode |
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| Wu Kai,Li Dejie.Development of Surface Conduction Electron Emitter Display Cathode[J].JOurnal of Vacuum Science and Technology,2006,26(5):339-342. |
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| Authors: | Wu Kai Li Dejie |
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| Affiliation: | Department of Electronic Engineering, Tsinghua University, Beifing, 100084, China |
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| Abstract: | A novel type of bi-layer structured(Bi_2O_3/C/Cu)cathode with nano-scale gap has been successfully developed for fabrication of the surface conduction electron emitter display(SCE).The strengths of the cathode include lower fabrication cost and shorter activation time.We found that the film growth conditions strongly affect the emission of the cathode.Through optimization of the growth conditions,stable and uniform electron emission has been obtained with a maximum emission efficiency up to 0.8%. |
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| Keywords: | Bi2O3 |
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