| CCD彩色滤光片的制备与集成技术研究 |
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| 引用本文： | 黄建,向鹏飞,陈红兵,李仁豪.CCD彩色滤光片的制备与集成技术研究[J].半导体光电,2015,36(5):728-732. |
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| 作者姓名： | 黄建 向鹏飞 陈红兵 李仁豪 |
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| 作者单位： | 重庆光电技术研究所,重庆,400060;重庆光电技术研究所,重庆,400060;重庆光电技术研究所,重庆,400060;重庆光电技术研究所,重庆,400060 |
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| 摘 要： | 介绍了彩色CCD的器件结构和成像原理,采用彩色光刻胶光刻法实现了彩色滤光片的制备,并通过分析彩色滤光片缓冲层、滤光片厚度和固化工艺等对滤光片性能的影响,获得了彩色滤光片的片上集成技术,并将其集成在512×512帧转移CCD器件上,完成了性能评价与成像验证.测试结果表明:制备的彩色滤光片主线透过率大于80％,光谱串扰小于15％,色纯度大于75％,集成该滤光片的彩色CCD成像色彩空间与sRGB相当,能够满足大多数CCD相机彩色成像的要求.
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| 关 键 词： | CCD 彩色滤光片 彩色CCD 色彩空间 |
| 收稿时间： | 2014/10/29 0:00:00 |
Study on Fabrication and Integration Technology of CCD Color Filter |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | CCD color filter color CCD color space |
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