| PID温度控制在真空镀膜机应用研究 |
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| 引用本文： | 王辰,孙鹏,秦美荣. PID温度控制在真空镀膜机应用研究[J]. 电源技术, 2016, 0(7). DOI: 10.3969/j.issn.1002-087X.2016.07.038 |
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| 作者姓名： | 王辰 孙鹏 秦美荣 |
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| 作者单位： | 天津恒电空间电源有限公司,天津,300384 |
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| 摘 要： | ![]()
在自动化控制领域内,PID控制器具有结构简单、容易实现、控制效果好等特点,是迄今为止最稳定的控制方法。高真空镀膜机的温度控制在镀膜过程中起着十分重要的作用,控制温度的精准与否将直接影响空间用太阳电池成膜质量,研究了PID算法的原理和实现方法,将其应用到真空镀膜机温度控制系统中,并且摸索出相应参数整定的方法规律,可以满足工艺所需要的各种温度。
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| 关 键 词： | PID温度控制 参数整定 真空镀膜机 |
Application of PID temperature control in vacuum coating machine |
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| Abstract: | ![]()
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| Keywords: | PID temperature control parameter setting vacuum coating machine |
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