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热致变色VO2薄膜的制备及光学性能研究
引用本文:赵晓玲,王孝,曹韫真,闫璐,章俞之. 热致变色VO2薄膜的制备及光学性能研究[J]. 功能材料, 2013, 0(18): 2727-2730
作者姓名:赵晓玲  王孝  曹韫真  闫璐  章俞之
作者单位:中国科学院上海硅酸盐研究所 特种无机涂层重点实验室,上海,200050
基金项目:国家重点基础研究发展计划(973计划)资助项目
摘    要:
利用等离子体发射光谱监测系统(PEM)控制钒的等离子强度,在石英基底上磁控溅射制备了VO2薄膜。采用XRD、XPS、SEM、紫外-可见-近红外分光光度计及傅立叶红外分光光度计研究薄膜的结构、光学及相变特性。结果表明,所制备的VO2薄膜具有(011)取向,VO2薄膜的热滞回线宽度为25℃,可见光透过率和太阳光调节率分别可达Tlum,l=34.1%、Tlum,h=35.3%和ΔTsol=6.8%,相变前后,红外光区的反射率变化最大值可达44.4%。

关 键 词:VO2薄膜  PEM  光学性能

Preparation and optical properties of thermochromic VO2 thin films
ZHAO Xiao-ling , WANG Xiao , CAO Yun-zhen , YAN Lu , ZHANG Yu-zhi. Preparation and optical properties of thermochromic VO2 thin films[J]. Journal of Functional Materials, 2013, 0(18): 2727-2730
Authors:ZHAO Xiao-ling    WANG Xiao    CAO Yun-zhen    YAN Lu    ZHANG Yu-zhi
Affiliation:ZHAO Xiao-ling;WANG Xiao;CAO Yun-zhen;YAN Lu;ZHANG Yu-zhi;Key Laboratory of Inorganic Coating Materials,Shanghai Institute of Ceramics,Chinese Academy of Sciences;
Abstract:
Keywords:plasma emission monitoring (PEM)  VO2 film  optical properties
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