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Cl~-对镀铜层织构的影响
引用本文:瞿澄,朱承飞,袁菊,姚力军. Cl~-对镀铜层织构的影响[J]. 电镀与环保, 2013, 33(5): 13-15
作者姓名:瞿澄  朱承飞  袁菊  姚力军
作者单位:1. 南京工业大学材料科学与工程学院,江苏南京,210009
2. 南京工业大学高技术研究院,江苏南京,210009
摘    要:Cl-是镀铜工艺中必不可少的一种添加剂,它对镀层的光亮度和机械强度等都有很大的影响。采用酸性硫酸盐体系电沉积制备镀铜层,用XRD分析了Cl-对镀铜层织构的影响。结果表明:Cl-对镀层(111)晶面的织构系数没有影响;随着Cl-的质量浓度的增加,(220)晶面的织构系数出现先增后降的趋势。在铜酸比1∶1,电流密度4A/dm2,Cl-80mg/L,电解温度40℃,电解时间50min的条件下,可以获得高择优取向的镀铜层。

关 键 词:Cl-  电沉积  织构  X射线衍射

Effects of Cl-on Texture of Copper Coating
QU Cheng , ZHU Cheng-fei , YUAN Ju , YAO Li-jun. Effects of Cl-on Texture of Copper Coating[J]. Electroplating & Pollution Control, 2013, 33(5): 13-15
Authors:QU Cheng    ZHU Cheng-fei    YUAN Ju    YAO Li-jun
Affiliation:QU Cheng;ZHU Cheng-fei;YUAN Ju;YAO Li-jun;College of Materials Science and Engineering,Nanjing University of Technology;Hi-tech Research Institute,Nanjing University of Technology;
Abstract:
Keywords:Cl-  electrodeposition  texture  X-ray diffraction
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