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低压应用的高性能甚高频功率VDMOSFETs
作者姓名:刘英坤  梁春广  邓建国  张颖秋  郎秀兰  李思渊
作者单位:[1]兰州大学物理系,兰州730000 [2]河北半导体研究所,石家庄050051
摘    要:采用梯形栅结构和难熔金属钼栅工艺 ,研制出了高性能 ,低电压工作 ,适用于移动通信的甚高频功率VDMOS场效应晶体管 .该器件在 175 MHz、 12 V低电压工作条件下 ,输出功率为 12 W,漏极效率为 70 % ,功率增益为 12 d B

关 键 词:低压   梯形栅结构   钼栅工艺   甚高频功率VDMOSFET
文章编号:0253-4177(2001)08-0975-04
修稿时间:2001-01-05
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