| 长脉冲激光沉积原位生成YBaCuO超导膜 |
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| 引用本文： | 张甫权,李痒.长脉冲激光沉积原位生成YBaCuO超导膜[J].电子学报,1992,20(8):80-82. |
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| 作者姓名： | 张甫权 李痒 |
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| 作者单位： | 北京真空电子技术研究所，北京真空电子技术研究所，北京真空电子技术研究所，北京真空电子技术研究所 北京 100016，北京 100016，北京 100016，北京 100016 |
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| 摘 要： | 用长脉冲激光(脉冲宽度150μs,波长1.06μm)辐照高温烧结的YBa_2Cu_3O_(7-x)靶,在6Pa的氧气压强下,巳在(100)YSZ单晶衬底上原位生成YBa_2Cu_(?)O_(7-x)超导膜。衬底置于750℃的加热器上,衬底与靶之间的距离5cm,用该法制得的薄膜光亮坚实,正常态呈金属性,零电阻温度为84.7K。用XRD和SEM对薄膜进行了分析研究。
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| 关 键 词： | 冲激光沉积 超导薄膜 原位生成 |
In Situ Formation of YBaCuO Superconducting Film by Long-Pulse Laser Deposition |
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| Zhang Fuquan,Li Xiang,Pan Ping,Xue Ruijun.In Situ Formation of YBaCuO Superconducting Film by Long-Pulse Laser Deposition[J].Acta Electronica Sinica,1992,20(8):80-82. |
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| Authors: | Zhang Fuquan Li Xiang Pan Ping Xue Ruijun |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | long-pulse laser deposition YBa2Cu3O7-x superconducting film In situ formation |
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