| BaO Nd2O3 Sm2O3 TiO2薄膜的微波特性 |
| |
| 引用本文： | 张洪波,王文君,秦超,张巧真,张继华.BaO Nd2O3 Sm2O3 TiO2薄膜的微波特性[J].压电与声光,2013,35(5):716-718. |
| |
| 作者姓名： | 张洪波 王文君 秦超 张巧真 张继华 |
| |
| 作者单位： | 电子科技大学薄膜与集成器件国家重点实验室,四川成都,610054 |
| |
| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目（51172035） |
| |
| 摘 要： | 在制作完底电极的LaAlO3(100)衬底上,利用磁控溅射法制备了一层BaO-Nd2O3-Sm2O3-TiO2(BNST)系薄膜,再对薄膜进行退火处理.X线衍射仪(XRD)分析表明,经退火处理的BNST薄膜结晶效果良好.采用薄膜电容结构来实现电容的测量,主要研究了BNST薄膜电容的频率特性.阻抗分析测试和矢量网络分析测试表明,在测试频率为1 MHz时,介电常数为58.3,介电损耗小于2％;在1 GHz的测试频率下,介电常数为57.5,介电损耗小于3％.研究表明,制备的BNST薄膜的频率特性稳定,基本满足微波频率下使用的要求.
|
| 关 键 词： | BNST薄膜 射频磁控溅射 高频应用 介电性能 |
Microwave Properties of BaO-Nd2O3-Sm2O3-TiO2 Thin Film |
| |
| ZHANG Hongbo,WANG Wenjun,QIN Chao,ZHANG Qiaozhen and ZHANG Jihua.Microwave Properties of BaO-Nd2O3-Sm2O3-TiO2 Thin Film[J].Piezoelectrics & Acoustooptics,2013,35(5):716-718. |
| |
| Authors: | ZHANG Hongbo WANG Wenjun QIN Chao ZHANG Qiaozhen and ZHANG Jihua |
| |
| Affiliation: | State Key Lab. of Electronic Thin Films and Integrated Devices, University of Electronic Science and Technology of China, Chengdu 610054, China |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | BNST film RF magnetron sputtering high frequency application dielectric properties |
| 本文献已被 万方数据 等数据库收录！ |
| 点击此处可从《压电与声光》浏览原始摘要信息 |
|
点击此处可从《压电与声光》下载全文 |
|
