| 快速热退火对纳米晶粒SnO2薄膜性质的影响 |
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| 引用本文： | 秦苏梅,童梓洋,邓红梅,杨平雄.快速热退火对纳米晶粒SnO2薄膜性质的影响[J].红外与毫米波学报,2008,27(2):101-104. |
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| 作者姓名： | 秦苏梅 童梓洋 邓红梅 杨平雄 |
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| 作者单位： | 1. 华东师范大学,信息学院,上海,200241
2. 上海大学,分析测试中心,上海,200444 |
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| 基金项目： | 上海市教委资助项目
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上海市教委优秀青年教师科研专项基金
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国家自然科学基金
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上海市重点学科建设项目 |
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| 摘 要： | 以SnCl2·2H2O及无水乙醇为原料,利用溶胶-凝胶法在快速热退火下制备了SnO2纳米薄膜,研究了快速热退火(RTA)对SnO2薄膜性质的影响.采用X射线衍射谱(XRD)、扫描电子显微镜(SEM),研究了薄膜的晶粒尺寸、微结构、表面形貌与快速热退火条件的关联,用傅里叶变换红外光谱(FT-IR)和光致发光研究了薄膜的光学性质.结果表明,快速热退火(RTA)温度对薄膜的光学性质、晶粒尺寸和薄膜的结构形态均有较大的影响.
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| 关 键 词： | 纳米二氧化锡 溶胶-凝胶法(sol-gel) 快速热退火(RTA) |
| 文章编号： | 1001-9014(2008)02-0101-04 |
| 收稿时间： | 2007/4/20 |
| 修稿时间： | 2007年4月20日 |
EFFECT OF RAPID THERMAL ANNEALING ON PROPERTY OF NANO-SnO2 THIN FILM |
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| YANG Ping-Xiong,QIN Su-Mei,TONG Zi-Yang,GUO Ming,DENG Hong-Mei,YANG Ping-Xiong.EFFECT OF RAPID THERMAL ANNEALING ON PROPERTY OF NANO-SnO2 THIN FILM[J].Journal of Infrared and Millimeter Waves,2008,27(2):101-104. |
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| Authors: | YANG Ping-Xiong QIN Su-Mei TONG Zi-Yang GUO Ming DENG Hong-Mei YANG Ping-Xiong |
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| Keywords: | |
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