| MOEMS光开关静电驱动的优化设计 |
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| 引用本文： | 孙东明,董玮,郭文滨,刘彩霞,常惠明,张龙,纪平,徐宝琨,陈维友.MOEMS光开关静电驱动的优化设计[J].光电子技术,2002,22(4):223-227. |
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| 作者姓名： | 孙东明 董玮 郭文滨 刘彩霞 常惠明 张龙 纪平 徐宝琨 陈维友 |
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| 作者单位： | 吉林大学集成光电子学国家重点实验室,吉林大学实验区,长春,130023 |
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| 基金项目： | 吉林省科技发展计划，20010319， |
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| 摘 要： | 给出基于硅的微机械光开关的设计分析。优化设计了光开关结构，提出了一种降低扭臂式结构光开关驱动电压的方法。并根据不同结构，给出了静电驱动等方面的分析结果。
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| 关 键 词： | MOEMS 优化设计 光开关 静电驱动 扭臂 |
| 文章编号： | 1005-488X(2002)04-0223-05 |
| 修稿时间： | 2002年7月8日 |
Optimization and Design of Electrostatic Drive for a MOEMS Optical Switch |
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| Sun DongmingDong WeiGuo WenbinLiu CaixiaChang Huiming,Zhang LongJi PingXu BaokunChen Weiyou.Optimization and Design of Electrostatic Drive for a MOEMS Optical Switch[J].Optoelectronic Technology,2002,22(4):223-227. |
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| Authors: | Sun DongmingDong WeiGuo WenbinLiu CaixiaChang Huiming Zhang LongJi PingXu BaokunChen Weiyou |
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| Abstract: | This paper reports optimization and design of a MOEMS optical switch based on silicon. The structure of the optical switch is optimized. The method presented can reduce the drive voltage of torsion beam switch. Finally we give analytical results of electrostatic drive based on different structures. |
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| Keywords: | optical switch electrostatic drive torsion beam |
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