真空紫外反射镜的制备及其测量 |
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引用本文: | 付积闿,汪舒娅,顾培夫,唐晋发.真空紫外反射镜的制备及其测量[J].激光与红外,1986(3). |
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作者姓名: | 付积闿 汪舒娅 顾培夫 唐晋发 |
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作者单位: | 中科院安徽等离子体物理所,中科院安徽等离子体物理所,浙江大学光仪系,浙江大学光仪系 |
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摘 要: | 本文研究了真空紫外(300~2000?)反射膜的反射特性,这些特性包括反射率和材料种类、膜厚、制备参数、人射角及人射波长的关系。介绍了真空紫外反射率的测量装置,并给出了测量结果及误差分析。
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