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FELLOW CMOS双层金属工艺的门阵列版图设计系统
引用本文:薛华,李峰,钱黎明,李劲松,童家榕,章开和,唐璞山.FELLOW CMOS双层金属工艺的门阵列版图设计系统[J].半导体学报,1992,13(4):246-252.
作者姓名:薛华  李峰  钱黎明  李劲松  童家榕  章开和  唐璞山
作者单位:复旦大学电子工程系 上海200433 (薛华,李峰,钱黎明,李劲松,童家榕,章开和),复旦大学电子工程系 上海200433(唐璞山)
摘    要:本文详述了CMOS双层金属工艺的门阵列版图设计系统 FELLOW及其系统结构与主要算法.该系统覆盖了门阵列设计中从逻辑网表描述(Netlist)到物理版图(Layout)生成的所有设计阶段.在系统的结构设计上,采用了统一的数据管理和用户界面管理,而使系统模块化、集成化.整个系统与库单元都独立于工艺设计规则,即系统与已建立的单元库可以适用于不同的设计规则.三个芯片设计的实例比较,结果显示其芯片面积比单层布线工艺要减小20%以上.

关 键 词:门阵列  版图  双层金属工艺  设计
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