碳纳米管场发射微焦点高速X射线管 |
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引用本文: | 张继君,李海,李俊,魏纬,王艳,陈泽祥.碳纳米管场发射微焦点高速X射线管[J].真空电子技术,2015(1):8-11,23. |
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作者姓名: | 张继君 李海 李俊 魏纬 王艳 陈泽祥 |
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作者单位: | 电子科技大学光电信息学院 |
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摘 要: | 具有快速启动和高速拍照特性的微焦点X射线管具有广泛的应用需求。一种基于碳纳米管场致发射阴极阵列的微焦点X射线管研制成功。采用由微波等离子体化学气相沉积方法制备出的高度定向的、具有优异场致发射性能的碳纳米管微束阵列作为X射线管的冷阴极,以此设计出由六边型铜网为栅极的多级式高分辨率电子光学系统,使该X射线管可以实现高速脉冲拍照特性。当栅极电压为2.7kV时,总发射电流达到2mA,碳纳米管相应的发射电流密度达到2.5A/cm2,此时X射线的焦斑尺寸为39μm,从而可以实现高分辨率X射线成像。
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关 键 词: | X-射线管 碳纳米管 场致发射 微焦点 |
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